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中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题 
定 价：48 元 丛书名：中国电子信息工程科技发展研究
9 7 6 8 2 7 3 0 5 3 9 0 1 读者对象:本书适用于国家不同层面和不同领域的各界专家学者、工程科技管理人才、科研工作者、在校相关专业学生
本书试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍，尽量了避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在单项工艺角色介绍后，解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。给读者一个大生产中芯片制造的概况了解，读者可以针对自己的
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