本书分上下两册，内容涉及微系统技术基础、高动态微系统、微系统互连技术、微系统封装集成技术、MEMS引信总体技术、智能弹药及引信用微惯性器件、引信专用芯片等。
《高动态微系统与MEMS引信技术（上）》目录：
第1章微系统技木基础
1.1微系统的定义和超越摩尔定律
1.1.1微系统的定义
1.1.2微系统的功能及意义
1.1.3超越摩尔定律
1.1.4微系统的主要特点
1.2微系统发展的迫切性
1.2.1发展微系统的迫切性和意义
1.2.2不断增长的市场需求
1.2.3微系统的发展历程
1.3关键推动技术
1.3.1微系统设计思想
1.3.2异质集成技术
1.3.3功能材料技术
1.3.4仿真验证及可靠性测试技术
1.4微系统制造典型工艺——硅基工艺
1.4.1硅基表面加工和体加工技术概述
1.4.2光刻
1.4.3薄膜沉积
1.4.4掺杂
1.4.5刻蚀
1.4.6SOI DRIE技术在微系统中的应用
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